多乐地主游戏官网:电容器结构pdf

  本创造揭露一种电容器结构，包含基底、电容器、第二介电层、榜首导电层与第二导电层。电容器包含多个榜首电极层、至少一个第二电极层与榜首介电层。多个榜首电极层与至少一个第二电极层替换设置在基底上。榜首介电层设置在榜首电极层与第二电极层之间。第二介电层设置在榜首电极层与第二电极层上，且具有多个榜首开口与至少一个第二开口。多个榜首开口露出出多个榜首电极层。第二开口露出出第二电极层。榜首导电层电衔接于多个榜首电极层。榜首导电层为设置在第二介电层上且延伸至多个榜首开口中的单一导电层。第二导电层电衔接于第二电极

  榜首介电层，设置在多个所述榜首电极层中的一个与至少一个所述第二电极层之间；

  第二介电层，设置在多个所述榜首电极层与至少一个所述第二电极层上，且具有多个

  榜首开口与至少一个第二开口，其间多个所述榜首开口露出出多个所述榜首电极层，且至

  榜首导电层，电衔接于多个所述榜首电极层，其间所述榜首导电层为设置在所述第二

  第二导电层，电衔接于至少一个所述第二电极层，且设置在所述第二介电层上与至少

  2.如权力要求1所述的电容器结构，其间所述榜首导电层延伸至一切所述榜首开口中。

  多个触摸窗部，衔接于所述导线部，其间每个所述触摸窗部设置在所对应的所述榜首

  4.如权力要求3所述的电容器结构，其间所述导线部与多个所述触摸窗部为一体成型。

  5.如权力要求1所述的电容器结构，其间多个所述榜首开口中的一部分露出出同一个

  6.如权力要求1所述的电容器结构，其间相邻两个所述榜首开口露出出不同的所述第

  7.如权力要求1所述的电容器结构，包含多个所述第二电极层，其间所述第二介电层包

  括多个所述第二开口，多个所述第二开口露出出多个所述第二电极层，且所述第二导电层

  8.如权力要求7所述的电容器结构，其间所述第二导电层延伸至一切所述第二开口中。

  9.如权力要求7所述的电容器结构，其间多个所述第二开口中的一部分露出出同一个

  10.如权力要求7所述的电容器结构，其间相邻两个所述第二开口露出出不同的所述第

  至少一个触摸窗部，衔接于所述导线部，其间至少一个所述触摸窗部设置在至少一个

  12.如权力要求11所述的电容器结构，其间所述导线部与至少一个所述触摸窗部为一

  13.如权力要求1所述的电容器结构，其间所述榜首导电层的顶面与所述第二导电层的

  14.如权力要求1所述的电容器结构，其间在所述电容器中具有多个第三开口。

  15.如权力要求14所述的电容器结构，其间部分所述第二介电层设置在多个所述第三

  16.如权力要求1所述的电容器结构，其间所述榜首导电层的仰望图画与所述第二导电

  所述第二边衔接于所述榜首边与所述第三边，且设置在所述榜首边与所述第三边之

  所述第四边衔接于所述榜首边与所述第三边，且设置在所述榜首边与所述第三边之

  所述第六边衔接于所述第五边与所述第七边，且设置在所述第五边与所述第七边之

  所述第八边衔接于所述第五边与所述第七边，且设置在所述第五边与所述第七边之

  榜首延伸部，衔接于所述榜首主体部，其间所述榜首延伸部设置在所述榜首衔接端子

  的仰望图画与所述第二衔接端子的仰望图画之间，且附近于所述第二衔接端子的所述第五

  第二延伸部，衔接于所述榜首主体部，其间所述第二延伸部环绕所述第二衔接端子的

  第三延伸部，衔接于所述第二主体部，其间所述第三延伸部设置在所述榜首衔接端子

  的仰望图画与所述第二衔接端子的仰望图画之间，且附近于所述榜首衔接端子的所述榜首

  第四延伸部，衔接于所述第二主体部，其间所述第四延伸部环绕所述榜首衔接端子的

  [0002]电容器为大规模的应用于电子科技类产品中的一种被迫元件。现在，电容器结构常经过替换

  堆叠的多个榜首电极层与多个第二电极层来提高电容值，其间多个榜首电极层互相电连

  接，且多个第二电极层互相电衔接。但是，在上述电容器结构中，用于将多个榜首电极层彼

  此电衔接的内连线结构和用于将多个第二电极层互相电衔接的内连线结构具有较高的

  [0003]本创造供给一种电容器结构，其可有效地降作工艺复杂度与制作本钱。

  [0004]本创造提出一种电容器结构，包含基底、电容器、第二介电层、榜首导电层与第二

  导电层。电容器包含多个榜首电极层、至少一个第二电极层与榜首介电层。多个榜首电极层

  与至少一个第二电极层替换设置在基底上。榜首介电层设置在多个榜首电极层中的一个与

  至少一个第二电极层之间。第二介电层设置在多个榜首电极层与至少一个第二电极层上，

  且具有多个榜首开口与至少一个第二开口。多个榜首开口露出出多个榜首电极层。至少一

  个第二开口露出出至少一个第二电极层。榜首导电层电衔接于多个榜首电极层。榜首导电

  层为设置在第二介电层上且延伸至多个榜首开口中的单一导电层。第二导电层电衔接于至

  [0005]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，榜首导电层可延伸至一切第

  [0006]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，榜首导电层可包含导线部与

  多个触摸窗部。多个触摸窗部衔接于导线部。每个触摸窗部可设置在所对应的榜首开口中。

  [0007]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，导线部与多个触摸窗部可为

  [0008]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，多个榜首开口中的一部分可

  [0009]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，相邻两个榜首开口可露出出

  [0010]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，可包含多个第二电极层。第二

  介电层可包含多个第二开口。多个第二开口可露出出多个第二电极层。第二导电层可为设

  [0011]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，第二导电层可延伸至一切第

  [0012]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，多个第二开口中的一部分可

  [0013]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，相邻两个第二开口可露出出

  [0014]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，第二导电层可包含导线部与

  至少一个触摸窗部。至少一个触摸窗部衔接于导线部。至少一个触摸窗部设置在至少一个

  [0015]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，导线部与至少一个触摸窗部

  [0016]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，榜首导电层的顶面与第二导

  [0017]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，在电容器中可具有多个第三

  [0018]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，部分第二介电层可设置在多

  [0019]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，榜首导电层的仰望图画与第

  [0020]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，榜首导电层的仰望图画可包

  括榜首梳状部，第二导电层的仰望图画可包含第二梳状部，且榜首梳状部与第二梳状部可

  [0021]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，还可包含榜首衔接端子与第

  二衔接端子。榜首衔接端子可经过榜首导电层而电衔接于多个榜首电极层。第二衔接端子

  [0022]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，榜首衔接端子的仰望图画可

  包含榜首边、第二边、第三边与第四边。榜首边与第三边互相相对。第二边与第四边互相相

  对。第二边衔接于榜首边与第三边，且设置在榜首边与第三边之间。第四边衔接于榜首边与

  第三边，且设置在榜首边与第三边之间。第二衔接端子的仰望图画包含第五边、第六边、第

  七边与第八边。第五边与第七边互相相对。第六边与第八边互相相对。第六边衔接于第五边

  与第七边，且设置在第五边与第七边之间。第八边衔接于第五边与第七边，且设置在第五边

  [0023]依照本创造的一施行例所述，在上述电容器结构中，榜首导电层的仰望图画可包

  括榜首主体部、榜首延伸部与第二延伸部。榜首主体部设置在榜首衔接端子的仰望图画的

  正下方。榜首延伸部衔接于榜首主体部。榜首延伸部设置在榜首衔接端子的仰望图画与第

  二衔接端子的仰望图画之间，且附近于第二衔接端子的第五边。第二延伸部衔接于榜首主

  体部。第二延伸部可环绕第二衔接端子的第六边、第七边与第八边。第二导电层的仰望图画

  可包含第二主体部、第三延伸部与第四延伸部。第二主体部设置在第二衔接端子的仰望图

  案的正下方。第三延伸部衔接于第二主体部。第三延伸部设置在榜首衔接端子的仰望图画

  与第二衔接端子的仰望图画之间，且附近于榜首衔接端子的榜首边。第四延伸部衔接于第

  [0024]依据上述，在本创造所提出的电容器结构中，电容器包含多个榜首电极层、至少一

  个第二电极层与榜首介电层。多个榜首电极层与至少一个第二电极层替换设置在基底上。

  榜首介电层设置在榜首电极层与第二电极层之间。第二介电层具有露出出多个榜首电极层

  的多个榜首开口。榜首导电层电衔接于多个榜首电极层。榜首导电层为设置在第二介电层

  上且延伸至多个榜首开口中的单一导电层。如此一来，多个榜首电极层可经过榜首导电层

  [0025]为让本创造的上述特征和长处能更显着易懂，下文特举施行例，并合作所附的附

  [0029]图2A与图2B为本创造的一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图；

  [0031]图3A与图3B为本创造的另一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图；

  [0033]图4A与图4B为本创造的另一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图；

  [0038]图6A与图6B为本创造的另一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图；

  [0040]图7A与图7B为本创造的另一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图；

  [0042]图8A与图8B为本创造的另一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图；

  [0069]下文罗列施行例并合作附图来进行具体地阐明，但所供给的施行例并非用以约束

  本创造所包含的规模。为了便利了解，鄙人述阐明中相同的构件将以相同的符号标明来说

  明。此外，附图仅以阐明为意图，并未依照原尺度作图。别的，仰望图中的特征与剖面图中的

  特征并非按相同份额制作。事实上，为论阐明晰起见，可任意增大或减小各种特征的尺度。

  [0070]图1A与图1B为依据本创造的一些施行例的电容器结构的剖面图。图1C为图1A的电

  容器结构中的部分构件的剖面图。在图1C中，省掉图1A中的部分构件，以清楚地阐明开口

  OP1的设置办法。图1D为图1A的电容器结构中的部分构件的剖面图。在图1D中，省掉图1A中

  的部分构件，以清楚地阐明开口OP2与开口OP3的设置办法。图2A与图2B为依据本创造的一

  些施行例的导电层与衔接端子的仰望图。图2C为依据本创造的一些施行例的电容器结构的

  仰望图。图1A、图1C与图1D为沿着图2C中的I‑I’剖面线C中的II‑

  视图。图3C为依据本创造的另一些施行例的电容器结构的仰望图。图4A与图4B为依据本发

  明的另一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图。图4C为依据本创造的另一些施行例的电

  容器结构的仰望图。在本施行例的仰望图中，省掉剖面图中的部分构件，以清楚阐明仰望图

  [0071]请参照图1A、图1B、图1C、图1D、图2A、图2B与图2C，电容器结构10包含基底100、电

  容器102、介电层104、导电层106与导电层108。在一些施行例中，电容器结构10可为硅电容

  capacitor)。在一些施行例中，基底100可为半导体基底，如硅基底。在一些实

  施例中，基底100可具有沟槽T(图1B)。在一些施行例中，基底100可具有N型导电型或P型导

  电型。在本施行例中，基底100是以具有N型导电型为例，但本创造并不以此为限。

  [0072]电容器102设置在基底100上。在一些施行例中，电容器102还可设置在沟槽T中。电

  容器102包含多个电极层110(如，电极层110A与电极层110B)、至少一个电极层112与介电层

  114。多个电极层110与至少一个电极层112替换设置在基底100上。介电层114设置在电极层

  110与电极层112之间。在一些施行例中，介电层114A设置在电极层110A与电极层112之间。

  在一些施行例中，介电层114B设置在电极层110B与电极层112之间。电极层110与电极层112

  可经过介电层114而互相绝缘。在一些施行例中，最底部的电极层110(如，电极层110A)可为

  [0073]在一些施行例中，在电容器102中可具有多个开口OP1(如，开口OP11与开口OP12)。

  在一些施行例中，开口OP11可坐落介电层114A、电极层112、介电层114B与电极层110B中。在

  一些施行例中，开口OP11可露出出电极层110A的顶面、介电层114A的侧壁、介电层114A的顶

  面、电极层112的侧壁、介电层114B的侧壁、介电层114B的顶面与电极层110B的侧壁。在一些

  [0074]在一些施行例中，开口OP12可坐落介电层114B与电极层110B中。在一些施行例中，

  在一些施行例中，开口OP12可露出出电极层112的顶面、介电层114B的侧壁、介电层114B的

  顶面与电极层110B的侧壁。在一些施行例中，开口OP12的剖面形状可包含阶梯状，但本创造

  [0075]在本施行例中，电极层110的数量是以两个为例，但本创造并不以此为限。只需电

  极层110的数量为至少两个，即归于本创造所包含的规模。在另一些施行例中，电极层110的

  数量可为三个以上。在本施行例中，电极层112的数量是以一个为例，但本创造并不以此为

  限。只需电极层112的数量为至少一个，即归于本创造所包含的规模。在另一些施行例中，电

  极层112的数量可为两个以上。在本施行例中，介电层114的数量是以两个为例，但本创造并

  不以此为限。只需介电层114的数量为至少两个，即归于本创造所包含的规模。在另一些实

  [0076]在一些施行例中，电极层110与基底100可具有相同导电型(如，N型)。在一些施行

  例中，电极层110的资料例如是掺杂多晶硅。在一些施行例中，电极层112与基底100可具有

  相同导电型(如，N型)。在一些施行例中，电极层112的资料例如是掺杂多晶硅。在一些施行

  例中，介电层114的资料例如是氧化硅、氮化硅、高介电常数资料或其组合。举例来说，介电

  层114例如是氧化硅层、氮化硅层、氧化硅层/氮化硅层(ON)的复合层、氧化硅层/氮化硅层/

  氧化硅层(ONO)的复合层、高介电常数资料层或高介电常数资料层的复合层。

  [0077]介电层104设置在多个电极层110与电极层112上，且具有多个开口OP2(如，开口

  OP21与开口OP22)与至少一个开口OP3。部分介电层104可设置在多个开口OP1中。在本施行

  例中，如图2C所示，开口OP21的数量是以多个为例，但本创造并不以此为限。只需开口OP21

  的数量为至少一个，即归于本创造所包含的规模。在本施行例中，如图2C所示，开口OP22的

  数量是以多个为例，但本创造并不以此为限。只需开口OP22的数量为至少一个，即归于本发

  明所包含的规模。在本施行例中，如图2C所示，开口OP3的数量是以多个为例，但本创造并不

  以此为限。只需开口OP3的数量为至少一个，即归于本创造所包含的规模。在一些施行例中，

  [0078]多个开口OP2露出出多个电极层110。亦即，开口OP2可穿过介电层104而延伸至电

  极层110的顶面。在一些施行例中，每个开口OP2露出出所对应的电极层110。在一些施行例

  中，相邻两个开口OP2可露出出不同的电极层110。举例来说，开口OP21可露出出电极层

  110A，且开口OP22可露出出电极层110B。在一些施行例中，多个开口OP2中的一部分可露出

  出同一个电极层110。举例来说，如图2C所示，多个开口OP21可露出出同一个电极层110A。举

  例来说，如图2C所示，多个开口OP22可露出出同一个电极层110B。在一些施行例中，开口OP2

  [0079]开口OP3露出出电极层112。亦即，开口OP3可穿过介电层104而延伸至电极层112的

  顶面。在一些施行例中，如图2C所示，多个开口OP3可露出出同一个电极层112。在一些施行

  [0080]在一些施行例中，电容器结构10还可包含停止层116。停止层116设置在介电层104

  与电极层110之间以及介电层104与电极层112之间。停止层116还可设置在介电层104与介

  电层114之间。此外，部分停止层116可设置在多个开口OP1中。别的，开口OP2与开口OP3还可

  穿过停止层116。在一些施行例中，停止层116的资料例如是氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或其

  组合。在一些施行例中，停止层116的资料例如是氧化硅/氮化硅(ON)的复合资料。

  [0081]导电层106电衔接于多个电极层110。导电层106为设置在介电层104上且延伸至多

  个开口OP2中的单一导电层。如此一来，多个电极层110可经过导电层106而互相电衔接，因

  此可有效地降作工艺复杂度与制作本钱。在一些施行例中，导电层106可延伸至一切开

  口OP2中。亦即，导电层106可延伸至一切开口OP21与一切开口OP22中。在一些施行例中，导

  电层106可为一体成型。在一些施行例中，导电层106的资料例如是金属或金属化合物，如

  [0082]在一些施行例中，导电层106可包含导线)。多个触摸窗部C1衔接于导线。在一些施行例中，导线可为一体成型。每个触摸窗部C1可设置在所对应的开口OP2中。在一些施行例中，接

  触窗部C11可设置在所对应的开口OP21中，且触摸窗部C12可设置在所对应的开口OP22中。

  在本施行例中，如图2A与图2C所示，触摸窗部C11的数量是以多个为例，且触摸窗部C12的数

  量是以多个为例，但本创造并不以此为限。只需触摸窗部C11的数量为至少一个，且触摸窗

  部C12的数量为至少一个，即归于本创造所包含的规模。此外，在触摸窗部C11的数量为多个

  触窗部C12的数量为多个的状况下，可有效地下降等效串联电阻。在一些施行例中，如图2A

  [0083]导电层108电衔接于电极层112。导电层108设置在介电层104上与开口OP3中。在一

  些施行例中，导电层106的顶面与导电层108的顶面可为等高。在一些施行例中，导电层108

  可为设置在介电层104上且延伸至多个开口OP3中的单一导电层。在一些施行例中，导电层

  108可延伸至一切开口OP3中。在一些施行例中，导电层108可为一体成型。在一些施行例中，

  中，如图2B与图2C所示，触摸窗部C2的数量是以多个为例，但本创造并不以此为限。只需接

  触窗部C2的数量为至少一个，即归于本创造所包含的规模。触摸窗部C2衔接于导线。在

  开口OP3中。此外，在触摸窗部C2的数量为多个的状况下，可有效地下降等效串联电阻。

  [0085]在一些施行例中，沟槽T可不坐落触摸窗部C1的正下方的基底100中且可不坐落接

  [0086]在一些施行例中，电容器结构10还可包含阻障层118与阻障层120。阻障层118设置

  在导电层106与介电层104之间、导电层106与停止层116之间以及导电层106与电极层110之

  间。在一些施行例中，阻障层118可为设置在介电层104上且延伸至多个开口OP2中的单一阻

  障层。在一些施行例中，导电层106可经过阻障层120而电衔接于电极层110。在一些施行例

  [0087]阻障层120设置在导电层108与介电层104之间、导电层108与停止层116之间、导电

  层108与介电层114之间、以及导电层108与电极层112之间。在一些施行例中，阻障层120可

  为设置在介电层104上且延伸至多个开口OP3中的单一阻障层。在一些施行例中，导电层108

  可经过阻障层120而电衔接于电极层112。在一些施行例中，阻障层120的资料例如是钛、氮

  [0088]在一些施行例中，导电层106与导电层108可经过相同制作流程与工艺一起构成。亦即，导

  电层106与导电层108可源自同一个导电资料层。在一些施行例中，阻障层118与阻障层120

  可经过相同制作流程与工艺一起构成。亦即，阻障层118与阻障层120可源自同一个阻障资料层。举

  例来说，导电层106、导电层108、阻障层118与阻障层120的构成办法可包含以下过程，但本

  创造并不以此为限。首要，可在介电层104上依序构成填入开口OP2与开口OP3的阻障资料层

  (未示出)与导电资料层(未示出)。接着，可对导电资料层与阻障资料层进行图画化，而构成

  [0089]在一些施行例中，电容器结构10还可包含衔接端子122与衔接端子124。衔接端子

  122可经过导电层106而电衔接于多个电极层110。衔接端子124可经过导电层108而电衔接

  于电极层112。在一些施行例中，衔接端子122与衔接端子124可为电容器结构10的最外层。

  亦即，衔接端子122的顶面与衔接端子124的顶面可不被电容器结构10中的其他构件所覆

  盖。在一些施行例中，衔接端子122与衔接端子124例如是凸块下金属(UBM)、凸块或其组合。

  在一些施行例中，衔接端子122与衔接端子124的资料例如是钛、镍、金、铜、锡或其组合。

  [0090]在一些施行例中，衔接端子122的仰望图画可为矩形，但本创造并不认为限。在另

  一些施行例中，衔接端子122的仰望图画可为其他多边形、圆形或椭圆形。在一些施行例中，

  当衔接端子122的仰望图画为矩形时，衔接端子122的仰望图画可包含榜首边S1、第二边S2、

  第三边S3与第四边S4。榜首边S1与第三边S3互相相对。第二边S2与第四边S4互相相对。第二

  边S2衔接于榜首边S1与第三边S3，且设置在榜首边S1与第三边S3之间。第四边S4衔接于第

  [0091]在一些施行例中，衔接端子124的仰望图画可为矩形，但本创造并不认为限。在另

  一些施行例中，衔接端子124的仰望图画可为其他多边形、圆形或椭圆形。在一些施行例中，

  当衔接端子124的仰望图画为矩形时，衔接端子124的仰望图画包含第五边S5、第六边S6、第

  七边S7与第八边S8。第五边S5与第七边S7互相相对。第六边S6与第八边S8互相相对。第六边

  S6衔接于第五边S5与第七边S7，且设置在第五边S5与第七边S7之间。第八边S8衔接于第五

  [0092]如图2A、图2B与图2C所示，导电层106的仰望图画可包含主体部106A、延伸部106B

  与延伸部106C。主体部106A设置在衔接端子122的仰望图画的正下方。在一些施行例中，主

  体部106A可包含多个触摸窗部C1。延伸部106B衔接于主体部106A。延伸部106B设置在衔接

  端子122的仰望图画与衔接端子124的仰望图画之间，且附近于衔接端子124的第五边S5。在

  一些施行例中，延伸部106B可包含多个触摸窗部C1。延伸部106C衔接于主体部106A。延伸部

  106C可环绕衔接端子124。在一些施行例中，延伸部106C可环绕衔接端子124的第六边S6、第

  七边S7与第八边S8。在一些施行例中，延伸部106C可包含多个触摸窗部C1。

  [0093]如图2A、图2B与图2C所示，导电层108的仰望图画可包含主体部108A、延伸部108B

  与延伸部108C。主体部108A设置在衔接端子124的仰望图画的正下方。在一些施行例中，主

  体部108A可包含多个触摸窗部C2。延伸部108B衔接于主体部108A。延伸部108B设置在衔接

  端子122的仰望图画与衔接端子124的仰望图画之间，且附近于衔接端子122的榜首边S1。在

  一些施行例中，延伸部108B可包含多个触摸窗部C2。延伸部108C衔接于主体部108A。延伸部

  108C可环绕衔接端子122。在一些施行例中，延伸部108C可环绕衔接端子122的第二边S2、第

  三边S3与第四边S4。在一些施行例中，延伸部108C可包含多个触摸窗部C2。

  [0094]在一些施行例中，如图2A、图2B与图2C所示，导电层106的仰望图画与导电层108的

  仰望图画可互相符合。在一些施行例中，导电层106的仰望图画可包含梳状部P1，导电层108

  的仰望图画可包含梳状部P2，且梳状部P1与梳状部P2可互相符合。在一些施行例中，如图

  2A、图2B与图2C所示，延伸部106B可包含梳状部P1，延伸部108C可包含梳状部P2，且延伸部

  106B的梳状部P1与延伸部108C的梳状部P2可互相符合。在一些施行例中，如图2A、图2B与图

  2C所示，延伸部106C可包含梳状部P1，延伸部108B可包含梳状部P2，且延伸部106C的梳状部

  [0095]此外，导电层106的仰望图画并不限于图2A与图2C所示的仰望图画。在另一些施行

  例中，导电层106的仰望图画可为如图3A、图3C、图4A与图4C所示的仰望图画，于此省掉其说

  明。别的，导电层108的仰望图画并不限于图2B与图2C所示的仰望图画。在另一些施行例中，

  导电层108的仰望图画可为如图3B、图3C、图4B与图4C所示的仰望图画，于此省掉其阐明。

  [0096]依据上述施行例可知，在电容器结构10中，电容器102包含多个电极层110、至少一

  个电极层112与介电层114。多个电极层110与至少一个电极层112替换设置在基底100上。介

  电层114设置在电极层110与电极层112之间。介电层104具有露出出多个电极层110的多个

  开口OP2。导电层106电衔接于多个电极层110。导电层106为设置在介电层104上且延伸至多

  个开口OP2中的单一导电层。如此一来，多个电极层110可经过导电层106而互相电衔接，因

  [0097]图5A与图5B为依据本创造的另一些施行例的电容器结构的剖面图。图5C为图5A的

  电容器结构中的部分构件的剖面图。在图5C中，省掉图5A中的部分构件，以清楚地阐明开口

  OP1的设置办法。图5D为图5A的电容器结构中的部分构件的剖面图。在图5D中，省掉图5A中

  的部分构件，以清楚地阐明开口OP2与开口OP3的设置办法。图6A与图6B为依据本创造的另

  一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图。图6C为依据本创造的另一些施行例的电容器结

  构的仰望图。图5A、图5C与图5D为沿着图6C中的III‑III’剖面线C

  子的仰望图。图7C为依据本创造的另一些施行例的电容器结构的仰望图。图8A与图8B为根

  据本创造的另一些施行例的导电层与衔接端子的仰望图。图8C为依据本创造的另一些施行

  例的电容器结构的仰望图。在本施行例的仰望图中，省掉剖面图中的部分构件，以清楚阐明

  6B与图6C，电容器结构20与电容器结构10的差异如下。电容器结构20可包含多个电极层112

  (如，电极层112A与电极层112B)。在电容器结构20中，电极层110的数量是以两个为例，电极

  层112的数量是以两个为例，且介电层114的数量是以三个为例，但本创造并不以此为限。只

  要电极层110的数量为至少两个，电极层112的数量为至少一个，且介电层114的数量为至少

  [0099]在电容器结构20中，在电容器102中可具有多个开口OP1(如，开口OP11、开口OP12

  与开口OP13)。在一些施行例中，开口OP11可坐落介电层114A、电极层112A、介电层114B、电

  极层110B、介电层114C与电极层112B中。在一些施行例中，开口OP11可露出出电极层110A的

  顶面、介电层114A的侧壁、介电层114A的顶面、电极层112A的侧壁、介电层114B的侧壁、介电

  层114B的顶面、电极层110B的侧壁、介电层114C的侧壁、介电层114C的顶面与电极层112B的

  侧壁。在一些施行例中，开口OP11的剖面形状可包含阶梯状，但本创造并不以此为限。

  [0100]在一些施行例中，开口OP12可坐落介电层114B、电极层110B、介电层114C与电极层

  112B中。在一些施行例中，开口OP12可露出出电极层112A的顶面、介电层114B的侧壁、介电

  层114B的顶面、电极层110B的侧壁、介电层114C的侧壁、介电层114C的顶面与电极层112B的

  侧壁。在一些施行例中，开口OP12的剖面形状可包含阶梯状，但本创造并不以此为限。

  [0101]在一些施行例中，开口OP13可坐落介电层114C与电极层112B中。在一些施行例中，

  开口OP13可露出出电极层110B的顶面、介电层114C的侧壁、介电层114C的顶面与电极层

  112B的侧壁。在一些施行例中，开口OP13的剖面形状可包含阶梯状，但本创造并不以此为

  [0102]在电容器结构20中，介电层104可具有多个开口OP3(如，开口OP31与开口OP32)。在

  电容器结构20中，多个开口OP3可露出出多个电极层112。亦即，开口OP3可穿过介电层104而

  延伸至电极层112的顶面。在电容器结构20中，每个开口OP3露出出所对应的电极层112。在

  电容器结构20中，相邻两个开口OP3可露出出不同的电极层112。举例来说，开口OP31可露出

  出电极层112A，且开口OP32可露出出电极层112B。在电容器结构20中，多个开口OP3中的一

  部分可露出出同一个电极层112。举例来说，如图6C所示，多个开口OP31可露出出同一个电

  极层112A。举例来说，如图6C所示，多个开口OP32可露出出同一个电极层112B。在电容器结

  [0103]在电容器结构20中，导电层108电衔接于多个电极层112。在电容器结构20中，导电

  层108可为设置在介电层104上且延伸至多个开口OP3中的单一导电层。如此一来，多个电极

  层112可经过导电层108而互相电衔接，因而可有效地降作工艺复杂度与制作本钱。在

  电容器结构20中，导电层108可延伸至一切开口OP3中。亦即，导电层108可延伸至一切开口

  OP31与一切开口OP32中。在一些施行例中，导电层108可为一体成型。

  [0104]在电容器结构20中，导电层108可包含导线)。多个触摸窗部C2衔接于导线中，导线可为一体成型。每个触摸窗部C2可设置在所对应的开口OP3中。在一些施行例

  中，触摸窗部C21可设置在所对应的开口OP31中，且触摸窗部C22可设置在所对应的开口

  OP32中。在本施行例中，如图6B与图6C所示，触摸窗部C21的数量是以多个为例，且触摸窗部

  C22的数量是以多个为例，但本创造并不以此为限。只需触摸窗部C21的数量为至少一个，且

  触摸窗部C22的数量为至少一个，即归于本创造所包含的规模。此外，在触摸窗部C21的数量

  为多个的状况下，可有效地下降等效串联电阻。别的，在触摸窗部C22的数量为多个的状况

  下，可有效地下降等效串联电阻。在一些施行例中，如图6B与图6C所示，多个触摸窗部C21与

  [0105]此外，导电层106的仰望图画并不限于图6A与图6C所示的仰望图画。在另一些施行

  例中，导电层106的仰望图画可为如图7A、图7C、图8A与图8C所示的仰望图画，于此省掉其说

  明。别的，导电层108的仰望图画并不限于图6B与图6C所示的仰望图画。在另一些施行例中，

  导电层108的仰望图画可为如图7B、图7C、图8B与图8C所示的仰望图画，于此省掉其阐明。

  [0106]别的，电容器结构10与电容器结构20中，相同或类似的构件以相同的符号表明，且

  [0107]依据上述，在本创造所提出的电容器结构20中，电容器102包含多个电极层110、至

  少一个电极层112与介电层114。多个电极层110与至少一个电极层112替换设置在基底100

  上。介电层114设置在电极层110与电极层112之间。介电层104具有露出出多个电极层110的

  多个开口OP2。导电层106电衔接于多个电极层110。导电层106为设置在介电层104上且延伸

  至多个开口OP2中的单一导电层。如此一来，多个电极层110可经过导电层106而互相电连

  [0108]综上所述，在上述施行例的电容器结构中，电容器包含多个榜首电极层、至少一个

  第二电极层与榜首介电层。多个榜首电极层与至少一个第二电极层替换设置在基底上。第

  一介电层设置在榜首电极层与第二电极层之间。第二介电层具有露出出多个榜首电极层的

  多个榜首开口。榜首导电层电衔接于多个榜首电极层。榜首导电层为设置在第二介电层上

  且延伸至多个榜首开口中的单一导电层。如此一来，多个榜首电极层可经过榜首导电层而

  [0109]尽管结合以上施行例揭露了本创造，但是其并非用以限制本创造，任何所属技能

  领域中一般技能人员，在不脱离本创造的精力和规模内，可作少许的更动与修饰，故本创造

  2、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问加。

  3、成为VIP后，您将具有八大权益，权益包含：VIP文档下载权益、阅览免打扰、文档格局转化、高档专利检索、专属身份标志、高档客服、多端互通、版权挂号。

  4、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将依照每个用户上传文档的质量评分、类型等，对文档奉献者给予高额补助、流量扶持。假如你也想奉献VIP文档。上传文档

  1.2把握广西壮族服饰元素及特色（课件）《广西壮族服饰文化与创意规划》.pptx

  47_DLT 584-2017《3kV～110kV电网继电保护设备运转整定规程》.pdf

  我国设备农业的减碳增汇效应剖析——依据1828个县域面板数据的实证研讨.pdf

  小学体育与健康沪教版（五四学制）（2024）二年级全一册《第四课 运动场上我最棒》教育规划 .pdf

  原创力文档创建于2008年，本站为文档C2C买卖形式，即用户上传的文档直接共享给其他用户（可下载、阅览），本站仅仅中心服务渠道，本站一切文档下载所得的收益归上传人一切。原创力文档是网络服务渠道方，若您的权力被损害，请发链接和相关诉求至 电线) ，上传者